L’ICP-OES consiste à l’excitation thermique des ions du matériau dans un plasma induit d’argon. Les ions excités émettent de la lumière, et c’est cette lumière qui sera par la suite analysée. Chaque élément du matériau émet des longueurs d’onde qui les caractérisent. Ces longueurs d’onde sont séparées et leurs intensités sont mesurées par un spectromètre.
La spectrométrie d’émission optique à source plasma est surtout utilisée pour l’analyse des échantillons liquides. Quant aux échantillons solides, ils sont mis en solution avant d’être analysés.
