Source d'ions
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Source d'ions à clusters d'argon - multimode GCIS pour nettoyage et profils de profondeur des couches minces
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Comment fonctionne une source d’ions ?
À quoi sert une source d’ions ?
- La marque (Wynsep, Agilent, Phytronix ou Hiden),
- Le type (chimique, thermique ou électronique).