Rga series : mesure temps réel de concentration en gaz ou vapeur

Système pour l'analyse du contenu d'un récipient ou dérivés d'un process
- Gamme de masse : 50,100, 200, 300 ou 510 amu
- Concentration minimale détectable (HALO) : 2 x 10-13 mbar
- Concentration minimale détectable (3F) : 2 x 10-14 mbar
- Concentration minimale détectable (3F-PIC) : 2 x 10-15 mbar
- Source d'ions : gamme de sources par impact d'électrons disponible
- Contrôle complet de la source d'ions : oui
- Emission électronique : ajustable par logiciel entre 1 µA et 2 mA
- Energie électronique : ajustable par logiciel entre 0 V et 150 eV
- Energie d'ions : ajustable par logiciel entre 0 V et 10 eV
- Détecteur : détecteur Faraday et multiplicateur d'électrons
- Bride (HALO) : bride DN-35-CF (2.75"/70 mm)
- Bride (3F ? triple filtre) : bride DN-63-CF (4.5?/114 mm)
Domaine d'utilisation:
Analyse des gaz et vapeurs dans des procédés et chambres sous vide.