Profilomètre Optique pour l'industrie, la recherche et le développement - Zeta-20

Profilomètre Optique pour la R&D - Zeta-20
1. Polyvalence et Performance
2. Mesure Ponctuelle
3. Topographie 3D haute résolution en couleur même sur échantillon transparent
4. Interférométriques : lumière blanche VSI - Nomarski - PSI
5. Épaisseur de couches minces transparentes
Le Zeta-20 est un profilomètre optique entièrement intégré qui fournit une métrologie 3D et une capacité d'imagerie dans un boîtier compact et robuste. Le système est alimenté par la technologie ZDot ™, qui collecte simultanément des données 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color. Le Zeta-20 prend en charge les environnements de recherche et développement et de production avec une optique multi-mode, un logiciel facile à utiliser et un faible coût de possession.
Applications en profilométrie optique

Hauteur de marche: hauteur de marche 3D de nanomètres à millimètres
Texture: rugosité 3D et ondulation sur des surfaces lisses à très rugueuses
Forme: arc et forme 3D
Contrainte: contrainte de film mince 2D
Epaisseur du film: épaisseur du film transparent de 30 nm à 100 µm
Inspection des défauts: capture des défauts supérieurs à 1µm
Vérification des défauts: les fichiers KLARF sont utilisés pour rechercher des défauts afin de mesurer la topographie en surface 3D ou de localiser les défauts.
Hauteur des marches
Épaisseur du film
Texture: rugosité et ondulation
Forme: arc et forme
Stress: le stress des couches minces
Inspection automatisée des défauts
Examen des défauts
Cellules solaires photovoltaïques
Emballage de semi-conducteurs et semi-conducteurs composés
Circuit imprimé (PCB) et PCB flexible
Ablation au laser
Microfluidique
Biotechnologie
Stockage de données

Industries

Solaire: cellules solaires photovoltaïques
Semi-conducteur et semi-conducteur composé
WLCSP à semi-conducteur
FOWLP à semi-conducteurs (conditionnement au niveau des plaquettes ventilées)
PCB (circuit imprimé) et PCB flexible
MEMS: systèmes micro-électro-mécaniques
Dispositifs médicaux et dispositifs microfluidiques
Stockage de données
Universités, laboratoires de recherche et instituts

La profilométrie dédiée à l'industrie et la R&D
Le profileur optique de table Zeta-20 est un système de mesure de topographie de surface 3D sans contact. Le système est alimenté par la technologie brevetée ZDot ™ et par une optique multimode qui permet de mesurer une variété d’échantillons: transparents et opaques, à réflectance faible à élevée, de texture lisse à rugueuse et de hauteurs de pas allant de quelques nanomètres à millimètres.
Le Zeta-20 intègre six technologies de métrologie optique différentes dans un système configurable et facile à utiliser. Le mode de mesure ZDot ™ collecte simultanément une numérisation 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color. D'autres techniques de mesure 3D comprennent l'interférométrie en lumière blanche, la microscopie à contraste d'interférence de Nomarski et l'interférométrie en cisaillement. L'épaisseur du film peut être mesurée avec ZDot ou un réflectomètre à large bande intégré. Le Zeta-20 est également un microscope haut de gamme pouvant être utilisé pour l'examen d'échantillons ou l'inspection automatisée des défauts. Le Zeta-20 prend en charge les environnements de recherche et développement et de production en fournissant des mesures complètes de la hauteur, de la rugosité et de l'épaisseur du film, ainsi que des fonctions d'inspection des défauts.

Profileur optique facile à utiliser avec les optiques ZDot et multi-mode pour une vaste gamme d'applications
Microscope de haute qualité pour l'examen des échantillons ou l'inspection des défauts
ZDot: collecte simultanément une numérisation 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color
ZXI: Interférométrie en lumière blanche pour les mesures de zones étendues avec une résolution z élevée
ZIC: Contraste interférentiel pour les données 3D quantitatives de surfaces à rugosité inférieure au nanomètre
ZSI: interférométrie en cisaillement pour les images à haute résolution z
ZFT: l'épaisseur et la réflectance du film sont mesurées à l'aide d'un réflectomètre à large bande intégré
AOI: Contrôle optique automatique pour quantifier les défauts sur l'échantillon
Capacité de production: mesures entièrement automatisées avec séquençage et reconnaissance de formes