![Profilomètre optique automatisé pour grand échantillon - Zeta-388_0](https://www.hellopro.fr/images/produit-2/6/2/2/profilometre-optique-automatise-pour-grand-echantillon-zeta-388-10044226.jpg)
Profilomètre optique automatisé pour grand échantillon - Zeta-388
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Description
Profilomètre optique automatisé, grand échantillon - Zeta-388
1. Pour l'industrie
2. Mesure Automatisée
3. Topographie 3D haute résolution en couleur même sur échantillon transparent
4. Interférométriques : lumière blanche VSI - Nomarski - PSI
5. Épaisseur de couches minces transparentes
Le Zeta-388 offre une capacité de métrologie et d'imagerie 3D, combiné à une table d'isolation intégrée et à un système de traitement de plaquette de cassette à cassette pour des mesures entièrement automatisées. Le système est alimenté par la technologie ZDot ™, qui collecte simultanément des données 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color. Le Zeta-388 prend en charge les environnements de recherche et développement et de production avec une optique multimode, un logiciel facile à utiliser, un faible coût de possession et des communications SECS / GEM.
Applications en profilométrie optique
2. Mesure Automatisée
3. Topographie 3D haute résolution en couleur même sur échantillon transparent
4. Interférométriques : lumière blanche VSI - Nomarski - PSI
5. Épaisseur de couches minces transparentes
Le Zeta-388 offre une capacité de métrologie et d'imagerie 3D, combiné à une table d'isolation intégrée et à un système de traitement de plaquette de cassette à cassette pour des mesures entièrement automatisées. Le système est alimenté par la technologie ZDot ™, qui collecte simultanément des données 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color. Le Zeta-388 prend en charge les environnements de recherche et développement et de production avec une optique multimode, un logiciel facile à utiliser, un faible coût de possession et des communications SECS / GEM.
Applications en profilométrie optique
- Hauteur de marche: hauteur de marche 3D de nanomètres à millimètres
- Texture: rugosité 3D et ondulation sur des surfaces lisses à très rugueuses
- Forme: arc et forme 3D
- Contrainte: contrainte de film mince 2D
- Epaisseur du film: épaisseur du film transparent de 30 nm à 100 µm
- Inspection des défauts: capture des défauts supérieurs à 1µm
- Vérification des défauts: les fichiers KLARF sont utilisés pour rechercher des défauts afin de mesurer la topographie en surface 3D ou de localiser les défauts.
- Hauteur des marches
- Épaisseur du film
- Texture: rugosité et ondulation
- Forme: arc et forme
- Stress: le stress des couches minces
- Inspection automatisée des défauts
- Examen des défauts
- Cellules solaires photovoltaïques
- Emballage de semi-conducteurs et semi-conducteurs composés
- Circuit imprimé (PCB) et PCB flexible
- Ablation au laser
- Microfluidique
- Biotechnologie
- Stockage de données
- Industries
- LED: diodes électroluminescentes et PSS (substrats saphir à motifs)
- Semi-conducteur et semi-conducteur composé
- WLCSP à semi-conducteur
- FOWLP à semi-conducteurs (conditionnement au niveau des plaquettes ventilées)
- PCB (circuit imprimé) et PCB flexible
- MEMS: systèmes micro-électro-mécaniques
- Dispositifs médicaux et dispositifs microfluidiques
AVANTAGES
- Pour l'industrie
- Mesure Automatisée
- Topographie 3D haute résolution en couleur même sur échantillon transparent
- Interférométriques : lumière blanche VSI - Nomarski - PSI
- Épaisseur de couches minces transparentes
- Pour l'industrie
- Mesure Automatisée
- Topographie 3D haute résolution en couleur même sur échantillon transparent
- Interférométriques : lumière blanche VSI - Nomarski - PSI
- Épaisseur de couches minces transparentes
La profilométrie optique automatisée pour grand échantillon
Le profileur optique Zeta-388 est un système de mesure de topographie de surface 3D sans contact. Le Zeta-388 s'appuie sur la capacité du Zeta-300 avec l'ajout d'un gestionnaire de cassette à cassette pour des mesures entièrement automatisées. Le système est alimenté par la technologie brevetée ZDot ™ et par une optique multi-mode, permettant de mesurer une variété d'échantillons: transparents et opaques, à réflectance faible à élevée, de texture lisse à rugueuse et de hauteurs de pas allant du nanomètre au millimètre.
Le Zeta-388 intègre six technologies de métrologie optique différentes dans un système configurable et facile à utiliser. Le mode de mesure ZDot ™ collecte simultanément une numérisation 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color. D'autres techniques de mesure 3D comprennent l'interférométrie en lumière blanche, la microscopie à contraste d'interférence de Nomarski et l'interférométrie en cisaillement. L'épaisseur du film peut être mesurée avec ZDot ou un réflectomètre à large bande intégré. Le Zeta-388 est également un microscope haut de gamme pouvant être utilisé pour l'examen d'échantillons ou l'inspection automatisée des défauts. Le Zeta-388 prend en charge la R & D et les environnements de produits en fournissant des mesures complètes de hauteur, de rugosité et d'épaisseur de film, une capacité d'inspection des défauts et une manipulation cassette à cassette.
Le profileur optique Zeta-388 est un système de mesure de topographie de surface 3D sans contact. Le Zeta-388 s'appuie sur la capacité du Zeta-300 avec l'ajout d'un gestionnaire de cassette à cassette pour des mesures entièrement automatisées. Le système est alimenté par la technologie brevetée ZDot ™ et par une optique multi-mode, permettant de mesurer une variété d'échantillons: transparents et opaques, à réflectance faible à élevée, de texture lisse à rugueuse et de hauteurs de pas allant du nanomètre au millimètre.
Le Zeta-388 intègre six technologies de métrologie optique différentes dans un système configurable et facile à utiliser. Le mode de mesure ZDot ™ collecte simultanément une numérisation 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color. D'autres techniques de mesure 3D comprennent l'interférométrie en lumière blanche, la microscopie à contraste d'interférence de Nomarski et l'interférométrie en cisaillement. L'épaisseur du film peut être mesurée avec ZDot ou un réflectomètre à large bande intégré. Le Zeta-388 est également un microscope haut de gamme pouvant être utilisé pour l'examen d'échantillons ou l'inspection automatisée des défauts. Le Zeta-388 prend en charge la R & D et les environnements de produits en fournissant des mesures complètes de hauteur, de rugosité et d'épaisseur de film, une capacité d'inspection des défauts et une manipulation cassette à cassette.
- Profileur optique facile à utiliser avec les optiques ZDot et multi-mode pour une vaste gamme d'applications
- Examen d'échantillons de microscope ou inspection de défauts de haute qualité
- ZDot: collecte simultanément une numérisation 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color
- ZXI: Interférométrie en lumière blanche pour les mesures de zones étendues avec une résolution z élevée
- ZIC: Contraste interférentiel pour les données 3D quantitatives de surfaces à rugosité inférieure au nanomètre
- ZSI: interférométrie en cisaillement pour les images à haute résolution z
- ZFT: l'épaisseur et la réflectance du film sont mesurées à l'aide d'un réflectomètre à large bande intégré
- AOI: Contrôle optique automatique pour quantifier les défauts sur l'échantillon
- Capacité de production: mesures entièrement automatisées avec séquençage et reconnaissance de formes
- Manipulateur de plaquettes: chargez automatiquement des échantillons opaques (silicium, par exemple) et transparents (saphir, par exemple), de 50 à 200 mm de diamètre
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