Profilomètre optique automatisé pour grand échantillon - Zeta-388

Profilomètre optique automatisé, grand échantillon - Zeta-388

1. Pour l'industrie
2. Mesure Automatisée
3. Topographie 3D haute résolution en couleur même sur échantillon transparent
4. Interférométriques : lumière blanche VSI - Nomarski - PSI
5. Épaisseur de couches minces transparentes
Le Zeta-388 offre une capacité de métrologie et d'imagerie 3D, combiné à une table d'isolation intégrée et à un système de traitement de plaquette de cassette à cassette pour des mesures entièrement automatisées. Le système est alimenté par la technologie ZDot ™, qui collecte simultanément des données 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color. Le Zeta-388 prend en charge les environnements de recherche et développement et de production avec une optique multimode, un logiciel facile à utiliser, un faible coût de possession et des communications SECS / GEM.
Applications en profilométrie optique

Hauteur de marche: hauteur de marche 3D de nanomètres à millimètres
Texture: rugosité 3D et ondulation sur des surfaces lisses à très rugueuses
Forme: arc et forme 3D
Contrainte: contrainte de film mince 2D
Epaisseur du film: épaisseur du film transparent de 30 nm à 100 µm
Inspection des défauts: capture des défauts supérieurs à 1µm
Vérification des défauts: les fichiers KLARF sont utilisés pour rechercher des défauts afin de mesurer la topographie en surface 3D ou de localiser les défauts.
Hauteur des marches
Épaisseur du film
Texture: rugosité et ondulation
Forme: arc et forme
Stress: le stress des couches minces
Inspection automatisée des défauts
Examen des défauts
Cellules solaires photovoltaïques
Emballage de semi-conducteurs et semi-conducteurs composés
Circuit imprimé (PCB) et PCB flexible
Ablation au laser
Microfluidique
Biotechnologie
Stockage de données
Industries
LED: diodes électroluminescentes et PSS (substrats saphir à motifs)
Semi-conducteur et semi-conducteur composé
WLCSP à semi-conducteur
FOWLP à semi-conducteurs (conditionnement au niveau des plaquettes ventilées)
PCB (circuit imprimé) et PCB flexible
MEMS: systèmes micro-électro-mécaniques
Dispositifs médicaux et dispositifs microfluidiques

AVANTAGES
- Pour l'industrie
- Mesure Automatisée
- Topographie 3D haute résolution en couleur même sur échantillon transparent
- Interférométriques : lumière blanche VSI - Nomarski - PSI
- Épaisseur de couches minces transparentes

La profilométrie optique automatisée pour grand échantillon
Le profileur optique Zeta-388 est un système de mesure de topographie de surface 3D sans contact. Le Zeta-388 s'appuie sur la capacité du Zeta-300 avec l'ajout d'un gestionnaire de cassette à cassette pour des mesures entièrement automatisées. Le système est alimenté par la technologie brevetée ZDot ™ et par une optique multi-mode, permettant de mesurer une variété d'échantillons: transparents et opaques, à réflectance faible à élevée, de texture lisse à rugueuse et de hauteurs de pas allant du nanomètre au millimètre.
Le Zeta-388 intègre six technologies de métrologie optique différentes dans un système configurable et facile à utiliser. Le mode de mesure ZDot ™ collecte simultanément une numérisation 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color. D'autres techniques de mesure 3D comprennent l'interférométrie en lumière blanche, la microscopie à contraste d'interférence de Nomarski et l'interférométrie en cisaillement. L'épaisseur du film peut être mesurée avec ZDot ou un réflectomètre à large bande intégré. Le Zeta-388 est également un microscope haut de gamme pouvant être utilisé pour l'examen d'échantillons ou l'inspection automatisée des défauts. Le Zeta-388 prend en charge la R & D et les environnements de produits en fournissant des mesures complètes de hauteur, de rugosité et d'épaisseur de film, une capacité d'inspection des défauts et une manipulation cassette à cassette.

Profileur optique facile à utiliser avec les optiques ZDot et multi-mode pour une vaste gamme d'applications
Examen d'échantillons de microscope ou inspection de défauts de haute qualité
ZDot: collecte simultanément une numérisation 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color
ZXI: Interférométrie en lumière blanche pour les mesures de zones étendues avec une résolution z élevée
ZIC: Contraste interférentiel pour les données 3D quantitatives de surfaces à rugosité inférieure au nanomètre
ZSI: interférométrie en cisaillement pour les images à haute résolution z
ZFT: l'épaisseur et la réflectance du film sont mesurées à l'aide d'un réflectomètre à large bande intégré
AOI: Contrôle optique automatique pour quantifier les défauts sur l'échantillon
Capacité de production: mesures entièrement automatisées avec séquençage et reconnaissance de formes
Manipulateur de plaquettes: chargez automatiquement des échantillons opaques (silicium, par exemple) et transparents (saphir, par exemple), de 50 à 200 mm de diamètre