Pompe à vide hybride turbo - ath 500m adixen
Description
Alcatel Vacuum Technology introduit une nouvelle pompe Turbo-moléculaire hybride à paliers magnétiques destinée aux applications nécessitant un pompage de 300 à 500 l/s. Cette pompe est équipée d’un contrôleur embarqué, et intègre des paliers magnétiques 5 axes actifs, ce qui lui confère une fiabilité maximum dans un encombrement réduit. L’ATH500M est disponible en version DN100 et DN160.
Domaine d'utilisation:
Instrumentation analytique & Recherche - Microscopie à électrons - Chambres spatiales / expérimentales Semi-conducteurs - Produits autonomes - Produits intégrés Coating - Revêtement de bandes métalliques Ecrans plats & Photovoltaïque - Produits intégrés
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