Nettoyeur plasma pour microscopes TEM et SEM - Tergeo-Pro

Nettoyeur plasma Tergeo-Pro - Nettoyeur plasma pour microscopes TEM et SEM

Le Tergeo-Pro possède la chambre la plus grande de toute la gamme Tergeo. Le diamètre de la chambre est de 230 mm et la profondeur est de 430 mm. La chambre peut accueillir un wafer de 8″ ou encore deux bateaux en quartz 25/50 slot 6″ ou 4″.
Le système plasma Tergeo-Pro est disponible avec une puissance RF de 150, 300 ou 500 watts. La puissance RF peut être ajustée à des intervalles de 1 watt. La fréquence de la puissance RF est de 13,56 MHz, ce qui offre une efficacité de génération de plasma beaucoup plus élevée que les systèmes plasma RF à des fréquence de l’ordre du KHz.
Les systèmes plasma Tergeo ajustent non seulement la puissance en watts RF, mais ils peuvent également créer un plasma continu ou pulsé. Le rapport d'impulsion peut être ajusté de 100 % à moins de 1 %. La construction de la paroi de la chambre en quartz permet la conception d'électrodes RF à couplage capacitif externe, qui génère un plasma plus uniforme dans toute la chambre.