Microscope électronique à balayage Dual Beam LYRA 3 - FEG Schottky et colonne ionique FIB
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David BARESI
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Description
TESCAN présente désormais dans son catalogue un nouveau microscope électronique à balayage Dual Beam (MEB/FIB), équipé d'une colonne électronique FEG (Schottky) et d'une colonne ionique FIB.
Il peut en outre recevoir en option des micro-injecteurs GIS.
Le LYRA 3 est monté sur la base du MIRA 3 XM et bénéficie de l'expérience de TESCAN en matière de MEB et de la collaboration avec ORSAY PHYSICS, spécialiste de la colonne ionique.
L'interface MEB intègre complètement le contrôle de la colonne FIB et des micro-injecteurs GIS.
L'apport des modes WIDE FIELD et de l'observation en 3D grâce à la colonne Wide Field Optics™ est incontestable pour l'utilisation du LYRA 3, en particulier dans le cas de l'ajout de micro-manipulateurs ou de micro-injecteurs.
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