Microscope electronique à balayage à pression variable su3800

Le MEB Hitachi SU3800 intègre une nouvelle technologie appelée « IFT » (Intelligent Filament Technology) qui permet à l’utilisateur de travailler avec un courant d’émission constant et extrêmement stable pour l’ensemble des tensions d’accélération. De plus, le logiciel informe en temps réel de la durée de vie restante du filament. La durée de vie est typiquement augmentée d’un facteur x3.
L’ergonomie très soignée, assure une grande facilité d’accès aux fonction du microscope, via le pupitre de commande ou via le logiciel. De nombreux automatismes, très rapides, maximisent la productivité.
Les électroniques de contrôle du détecteurs BSE très haute sensibilité à cinq secteurs et du détecteur optionnel UVD II pour le mode pression variable, ont été optimisées pour permettre une visualisation de l’échantillon à vitesse rapide en temps réel, comme c’est déjà le cas avec le détecteur d’électrons secondaires SE de type Everhart-Thornley.
La chambre dispose de très nombreux ports d’accès pour des équipements additionnels (EDS, WDS, EBSD, Cryo, détecteur STEM, etc…), la platine motorisée sur 5 axes en continu est compucentrique en inclinaison et en rotation.
Enfin une caméra optique intégrée dans la chambre permet d’obtenir une image de l’échantillon pendant le pompage de la chambre, de se déplacer en temps réel pour choisir la région d’intérêt et de superposer les images optiques et électroniques avec un facteur de transparence ajustable par l’utilisateur.
Principales spécifications :
Résolutions garanties sur site en mode « vide poussé » : 3,0 nm à 30kV et 15,0nm à 1kV (SED)
Résolution garantie sur site en mode « vide contrôlé » : 4,00 nm à 30 kV
Tension d'accélération : 0,3kV à 30kV
Grandissements : x5 à x800.000
Mode « vide contrôlé » : 6 Pa à 650 Pa
Platine eucentrique motorisée sur 5 axes (Tilt de -20° à +90°, Diamètre observable : 130 mm)
Echantillons jusqu'à 200mm de diamètre, de hauteur max 80mm à la distance analytique
Système de pompage sec (pompe turbomoléculaire à paliers magnétiques)
Pas d’alimentation en eau nécessaire