Gaz spéciaux pour l'électronique

Dans la fabrication de semi-conducteurs, des gaz spécifiques comme l'hexafluoroéthane (C2F6), l'octafluorocyclobutane (C4F8) et le germane (GeH4) sont employés pour les processus de gravure et de dépôt. L'hélium est utilisé pour ses propriétés de faible densité et de conductivité thermique élevée, tandis que l'azote prévient l'oxydation des matériaux. La pureté des gaz, souvent comprise entre 99,998 % et 99,99994 %, est essentielle pour éviter toute contamination.

Les gaz spéciaux jouent un rôle crucial dans divers processus de fabrication électronique, tels que le dépôt de films, la gravure de films, le dopage de substrats et le nettoyage de chambres. Par exemple, le dépôt de films fins nécessite des gaz de haute pureté pour garantir une adhérence et une uniformité optimales des couches déposées.