First sensor capteurs inertiels mems

La société First Sensor présente une nouvelle plateforme technologique pour la fabrication de capteurs inertiels de très haute précision pour la mesure de l'inclinaison, de l'accélération et de la vibration. Ces capteurs capacitifs sont basés sur des éléments en silicium monocristallins et des procédés de fabrication micromécaniques les plus récents. Les capteurs MEMS offrent un rapport signal/bruit très élevé ainsi qu'une excellente stabilité en température et détectent ainsi des très faibles changements de position et d'accélération. Les microstructures avec un grand rapport d'aspects (HARMS) garantissent des sensibilités transversales très petites. En outre, la technologie brevetée AIM (Air gap Insulated Microstructures) permet de minimiser les capacités parasites.
Les capteurs inertiels de très haute précision de First Sensors offrent des caractéristiques de premier ordre et un rapport prix/performance excellent par rapport aux solutions existantes. Les capteurs d'inclinaison offrent une gamme de mesure de ±30° et présentent une densité de bruit <0,0004°/√Hz et une résolution <0,0015° à une fréquence de mesure de 10 Hz. Les capteurs d'accélération offrent une gamme de mesure de ±8 g et de ±15 g et présentent une densité de bruit <30 µg/√Hz et des résolutions <95 µg à une fréquence de mesure de 10 Hz. Grâce à leur construction modulaire, tous les capteurs inertiels MEMS peuvent être adaptés aux exigences spécifiques du client de manière flexible et à faible coût. L'élément capacitif du capteur et le traitement du signal ASIC sont intégrés dans un boîtier CMS hermétiquement scellé permettant un montage sur manifold, économisant ainsi de l'espace. De plus, différentes cartes d’évaluations sont disponibles pour une utilisation et des mesures simples et rapides.
Les principales caractéristiques des nouveaux capteurs inertiels sont les suivantes :
- Procédés de fabrication micromécaniques les plus récents (HARMS, AIM)
- Rapport signal/bruit très élevé
- Excellente stabilité en température
- Souplesse d’adaptations aux exigences des clients
Domaine d'utilisation:
Les capteurs d'inclinaison et d'accélération de First Sensor sont surtout utilisés dans les domaines de l’industrie, de l'immotique, de l’aérospatial et du médical. Les applications typiques sont la géo-ingénierie, la surveillance de l'état, les systèmes de navigation, la robotique ainsi que les systèmes d'ajustage, de positionnement et de contrôle de niveau.