![Equipement de dépôt de couche mince par plasma ulcoat_0](https://www.hellopro.fr/images/produit-2/3/8/7/equipement-de-depot-de-couche-mince-par-plasma-ulcoat-277783.jpg)
Equipement de dépôt de couche mince par plasma ulcoat
![Equipement de dépôt de couche mince par plasma ulcoat_0](https://www.hellopro.fr/images/produit-2/3/8/7/equipement-de-depot-de-couche-mince-par-plasma-ulcoat-277783.jpg)
Description
Avec l'injection d'un précurseur dans le plasma en post-décharge, l'ULCoat permet le dépôt de couches minces sur la surface traitée.
L'ULCoat est un système vaporisant et injectant un précurseur sous la buse plasma. L'ULCoat s'utilise couplé avec un générateur ULS OMEGA.
Le module standard est conçu pour le dépôt d'oxydes de silicium (SiOx) en utilisant un précurseur organométallique. Mais d'autres compositions de films peuvent être étudiées.
Le laboratoire de développement de procédés d'AcXys Technologies est à votre service pour mettre au point l'application qui réponde à vos besoins dans le cadre d'un contrat de R& D.
L'ULCoat est disponible en module autonome ou en version intégrable dans d'autres équipements (version OEM).
La technologie ULCoat
- S'utilise avec un module ULS OMEGA
- Dépôt de couches minces
- Épaisseur ajustable de 50 à 1000 nanomètres
- Uniformité supérieure +/- 2%
- Vitesse de traitement moyenne à haute jusqu'à 200 nm. cm2 / s
- Version standard optimisée pour le dépôt d'oxydes de silicium (SiOx)
La buse d'injection
Le débit de précurseur liquide est contrôlé avant l'injection dans le plasma. Ce module est constitué de plusieurs composants :
- Réservoir de précurseur
- Contrôle de flux de précurseur
- Contrôle de débit de gaz
- Module de chauffage (facultatif)
L'ULCoat est un système vaporisant et injectant un précurseur sous la buse plasma. L'ULCoat s'utilise couplé avec un générateur ULS OMEGA.
Le module standard est conçu pour le dépôt d'oxydes de silicium (SiOx) en utilisant un précurseur organométallique. Mais d'autres compositions de films peuvent être étudiées.
Le laboratoire de développement de procédés d'AcXys Technologies est à votre service pour mettre au point l'application qui réponde à vos besoins dans le cadre d'un contrat de R& D.
L'ULCoat est disponible en module autonome ou en version intégrable dans d'autres équipements (version OEM).
La technologie ULCoat
- S'utilise avec un module ULS OMEGA
- Dépôt de couches minces
- Épaisseur ajustable de 50 à 1000 nanomètres
- Uniformité supérieure +/- 2%
- Vitesse de traitement moyenne à haute jusqu'à 200 nm. cm2 / s
- Version standard optimisée pour le dépôt d'oxydes de silicium (SiOx)
La buse d'injection
Le débit de précurseur liquide est contrôlé avant l'injection dans le plasma. Ce module est constitué de plusieurs composants :
- Réservoir de précurseur
- Contrôle de flux de précurseur
- Contrôle de débit de gaz
- Module de chauffage (facultatif)
Besoin de plusieurs devis pour comparer ?
Gagnez du temps avec la demande groupée.
Matière à traiter :
![Combien coûte un équipement de traitement au plasma ? Combien coûte un équipement de traitement au plasma ?](https://www.hellopro.fr/images/page_conseil/3/3/5/a-quipement-de-traitement-au-plasma-0.jpg)
![Arthur MARQUES DE OLIVEIRA Arthur MARQUES DE OLIVEIRA](https://www.hellopro.fr/images/annuaire_hp/conseils/optim/ArthurMARQUESDEOLIVEIRA.jpg)
Produits similaires
![Nettoyeur plasma in-situ pour les gaz agressifs et corrosifs - Saphir SEMI-KLEEN Nettoyeur plasma in-situ pour les gaz agressifs et corrosifs - Saphir SEMI-KLEEN](https://www.hellopro.fr/images/produit-3/6/9/1/nettoyeur-plasma-in-situ-pour-les-gaz-agressifs-et-corrosifs-saphir-semi-kleen-10044196.jpg)
Nettoyeur plasma in-situ pour les gaz agressifs et corrosifs - Saphir SEMI-KLEEN
Prix sur demande
Voir le produit
![Nettoyeur plasma pour microscopes TEM et SEM - Tergeo-EM Nettoyeur plasma pour microscopes TEM et SEM - Tergeo-EM](https://www.hellopro.fr/images/produit-3/6/8/1/nettoyeur-plasma-pour-microscopes-tem-et-sem-tergeo-em-10044186.png)
Nettoyeur plasma pour microscopes TEM et SEM - Tergeo-EM
Prix sur demande
Voir le produit
![Nettoyeur plasma pour microscopes TEM et SEM - Tergeo-Pro Nettoyeur plasma pour microscopes TEM et SEM - Tergeo-Pro](https://www.hellopro.fr/images/produit-3/8/8/1/nettoyeur-plasma-pour-microscopes-tem-et-sem-tergeo-pro-10044188.jpg)
Nettoyeur plasma pour microscopes TEM et SEM - Tergeo-Pro
Prix sur demande
Voir le produit
![Nettoyeur plasma in-situ pour l'industrie des semi-conducteurs - SEMI-KLEEN Nettoyeur plasma in-situ pour l'industrie des semi-conducteurs - SEMI-KLEEN](https://www.hellopro.fr/images/produit-3/4/9/1/nettoyeur-plasma-in-situ-pour-lindustrie-des-semi-conducteurs-semi-kleen-10044194.jpg)
Nettoyeur plasma in-situ pour l'industrie des semi-conducteurs - SEMI-KLEEN
Prix sur demande
Voir le produit
![Nettoyeurs plasma de table à faible coût - Série Tergeo Nettoyeurs plasma de table à faible coût - Série Tergeo](https://www.hellopro.fr/images/produit-3/1/8/1/nettoyeurs-plasma-de-table-serie-tergeo-10044181.png)
Nettoyeurs plasma de table à faible coût - Série Tergeo
Prix sur demande
Voir le produit
![Petit nettoyeur plasma intelligent et puissant in-situ pour systèmes SEM, FIB, XPS, SIMS, AES - EM-KLEEN Petit nettoyeur plasma intelligent et puissant in-situ pour systèmes SEM, FIB, XPS, SIMS, AES - EM-KLEEN](https://www.hellopro.fr/images/produit-3/1/9/1/petit-nettoyeur-plasma-intelligent-et-puissant-in-situ-pour-systemes-sem-fib-xps-sims-aes-em-kleen-10044191.png)
Petit nettoyeur plasma intelligent et puissant in-situ pour systèmes SEM, FIB, XPS, SIMS, AES - EM-KLEEN
Prix sur demande
Voir le produit
![Equipement de traitement par plasma atmospherique uld Equipement de traitement par plasma atmospherique uld](https://www.hellopro.fr/images/produit-3/4/8/7/equipement-de-traitement-par-plasma-atmospherique-uld-277784.jpg)
Equipement de traitement par plasma atmospherique uld
Prix sur demande
Voir le produit
![PLASTRON JUPE TN COUPE À DISTANCE OERLIKON PLASTRON JUPE TN COUPE À DISTANCE OERLIKON](https://www.hellopro.fr/images/produit-3/1/9/4/plastron-jupe-tn-coupe-a-distance-oerlikon-6259491.jpg)
PLASTRON JUPE TN COUPE À DISTANCE OERLIKON
Prix sur demande
Voir le produit
![Plasmanet à double porte Plasmanet à double porte](https://www.hellopro.fr/images/produit-3/4/6/5/plasmanet-a-double-porte-6400564.jpg)
Plasmanet à double porte
Prix sur demande
Voir le produit
![Plasmanet à tiroirs Plasmanet à tiroirs](https://www.hellopro.fr/images/produit-3/5/6/5/plasmanet-a-tiroirs-6400565.jpg)
Plasmanet à tiroirs
Prix sur demande
Voir le produit
![Plasmanet pour les grandes surfaces à traiter Plasmanet pour les grandes surfaces à traiter](https://www.hellopro.fr/images/produit-3/6/6/5/plasmanet-pour-les-grandes-surfaces-a-traiter-6400566.jpg)
Plasmanet pour les grandes surfaces à traiter
Prix sur demande
Voir le produit
Le top 5 des produits
![Traitement plasma atmosphérique Traitement plasma atmosphérique](https://www.hellopro.fr/images/produit-3/2/6/8/traitement-plasma-atmospherique-5279862.jpg)
Traitement plasma atmosphérique
Prix sur demande
Voir le produit
![Machines de dépôts dlc par plasma pecvd Machines de dépôts dlc par plasma pecvd](https://www.hellopro.fr/images/produit-3/0/7/5/machines-de-d-p-ts-dlc-par-plasma-pecvd-6400570.jpg)
Machines de dépôts dlc par plasma pecvd
Prix sur demande
Voir le produit
![Nettoyeur plasma de table à grande chambre pour la R&D - Tergeo-plus Nettoyeur plasma de table à grande chambre pour la R&D - Tergeo-plus](https://www.hellopro.fr/images/produit-3/4/8/1/nettoyeur-plasma-de-table-a-grande-chambre-pour-la-rd-tergeo-plus-10044184.png)
Nettoyeur plasma de table à grande chambre pour la R&D - Tergeo-plus
Prix sur demande
Voir le produit
![Finition par traitement séquencé Finition par traitement séquencé](https://www.hellopro.fr/images/produit-3/5/6/2/finition-par-traitement-sequence-22265.jpg)
Finition par traitement séquencé
Prix sur demande
Voir le produit
![Plasmanet pcb Plasmanet pcb](https://www.hellopro.fr/images/produit-3/3/6/5/plasmanet-pcb-6400563.jpg)
Plasmanet pcb
Prix sur demande
Voir le produit