Capteur de pression capacitif

Lorsqu'il s'agit de mesurer des pressions de l'ordre du mbar, la technologie piézorésistive n'est économiquement plus adaptée. On utilise alors la technologie capacitive qui permet de réaliser des membranes de grand diamètre à faible coût. En technologie capacitive, c'est donc une variation de capacité qui traduira la déformation de la membrane. Rosemount est le leader mondial de cette technologie avec plus de 1 millions de capteurs industriels de procédé installés.